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等離子清洗機操作介紹

更新時(shí)間:2023-05-25點(diǎn)擊次數:1371

1.jpg

 

真空度顯示:顯示腔體內部的真空度數值

 

運行程序段:分為3個(gè)步驟,綠色表示運行狀態(tài)

①真空泵啟動(dòng)②射頻電源打開(kāi)③放氣

 

進(jìn)氣流量顯示:通過(guò)調節AB流量調節閥調節氣體進(jìn)入腔體的大小,在兩個(gè)圖標顯示,上部顯示為A流量,下部顯示為B流量

 

時(shí)間:顯示設備清洗時(shí)間

 

功率:顯示當前設備清洗是清洗功率

 

設備溫度:顯示當前射頻電源設備溫度

 

放氣狀態(tài):顯示當前放氣閥開(kāi)啟或關(guān)閉狀態(tài)

 

清洗時(shí)間:點(diǎn)擊可設置設備運行清洗時(shí)間

 

清洗功率:點(diǎn)擊可設置設備運行清洗功率

 

開(kāi)始運行:點(diǎn)擊可切換設備開(kāi)始運行或者停止運行

 

參數設置:非專(zhuān)業(yè)人士請勿調節,如有需要請聯(lián)系廠(chǎng)家人員

2.jpg

射頻電源開(kāi)關(guān):按下產(chǎn)品前面板左邊的電源按鈕  此時(shí)產(chǎn)品通電啟動(dòng) 液晶顯示屏點(diǎn)亮, 顯示啟動(dòng)界面 2 秒,然后進(jìn)入相應工作狀態(tài)顯示界面。在按一下則關(guān)閉射頻電源。

 

功率調節旋鈕射頻功率調節過(guò)旋轉旋鈕來(lái)時(shí)針 旋轉時(shí)旋轉

射頻出的開(kāi)啟和關(guān)閉面板上的射頻輸出 開(kāi)藍色按鈕 打開(kāi)射頻出,同時(shí)定時(shí)器開(kāi)始倒計時(shí); 按下射頻輸出 關(guān)紅色按鈕】 關(guān)閉射頻輸出。

 

 

3.jpg

 

調節功率設旋鈕:顯示Wf"的數值會(huì )發(fā)相應的變,此 時(shí)的值為定值當按下射頻輸出 開(kāi)藍色按鈕開(kāi)射頻時(shí)RF OFF"將變成Wr"Wf 前的也會(huì )0 當然 Wr 數值會(huì )發(fā)生相應的,的后端負50 歐時(shí)Wr 的數值將0時(shí)輸出無(wú)反射功則,Wr 數值將根的反值。

 

手動(dòng)匹配器通過(guò)調MATCHTUNELOAD實(shí)匹配器的手 動(dòng)匹減低0W

4.jpg

 

MATCH             指示                      動(dòng)】指

 動(dòng)調TUNELOAD旋鈕 調TUNEWf 明調反的方調節;Wf 數值到達置最大過(guò)調個(gè)旋實(shí)Wr 低; b調節【LOAD鈕的理。(通過(guò)兩個(gè)旋鈕調節觀(guān)察Wf值根據旋鈕調節變大  Wr值根據旋鈕調節變小)

 

 

 

 

2、軟件語(yǔ)言選擇

按下MENU】鍵進(jìn)過(guò)前面的【UPDOWN】鍵

選中1 Lang./語(yǔ)"MENU鍵確進(jìn)English"

5.jpg



"MENU】鍵語(yǔ)言

 

 


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