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產(chǎn)品中心

Product Center

低溫真空探針臺

產(chǎn)品簡(jiǎn)介

低溫真空探針臺 廣泛應用于半導體工業(yè)(芯片、晶圓片、封裝器件)、MEMS、超導、電子學(xué)、物理學(xué)和材料學(xué)等領(lǐng)域。為了提高系統的實(shí)用性,系統還可以提供3.2K的溫度擴展選件、振動(dòng)隔離裝置、LN2杜瓦、高放大倍數的顯微鏡、分子泵機組、熱輻射屏的溫度控制裝置、探針臂的光纖電纜、光學(xué)樣品架等選件。

產(chǎn)品型號:
更新時(shí)間:2024-03-27
廠(chǎng)商性質(zhì):生產(chǎn)廠(chǎng)家
訪(fǎng)問(wèn)量:4007
品牌鄭科探

  低溫真空探針臺是一款為晶片、器件和材料(薄膜、納米、石墨烯、電子材料、超導材料、鐵電材料等)提供真空和低溫測試條件下進(jìn)行非破壞性的電學(xué)表征和測量平臺。可以對材料或器件進(jìn)行電學(xué)特性測量、光電特性測量、參數測量、高阻測量、DC測量、RF測量和微波特性測量,

    低溫真空探針臺廣泛應用于半導體工業(yè)(芯片、晶圓片、封裝器件)、MEMS、超導、電子學(xué)、物理學(xué)和材料學(xué)等領(lǐng)域。為了提高系統的實(shí)用性,系統還可以提供3.2K的溫度擴展選件、振動(dòng)隔離裝置、LN2杜瓦、高放大倍數的顯微鏡、分子泵機組、熱輻射屏的溫度控制裝置、探針臂的光纖電纜、光學(xué)樣品架等選件。

   KT-Z1604T探針臺主要應用于傳感器,半導體,光電,集成電路以及封裝的測試。 廣泛應用于復雜、高速器件的精密電氣測量的研發(fā),旨在確保質(zhì)量及可靠性,并縮減研發(fā)時(shí)間和器件制造工藝的成本。

     該探針臺的承載臺為60x60不銹鋼臺面,臺面可升溫到350℃。真空腔體設計有進(jìn)氣口和抽真空接口。探針臂為X/Y/Z三軸移動(dòng),三個(gè)方向均可在真空環(huán)境下精密移位調節,其中X方向調節范圍:0-30mm;y方向調節范圍:0-20mm;z方向調節范圍:0-20mm;用戶(hù)可根據需要自行調節。使用時(shí)將需檢測的器件固定在加熱臺上,再微調探針支架X/Y/Z 方向行程,通過(guò)顯微鏡觀(guān)察,使探針對準檢測點(diǎn)后,即可進(jìn)行檢測

真空腔體

腔體材質(zhì)

304不銹鋼

上蓋開(kāi)啟

鉸鏈側開(kāi)

加熱臺材質(zhì)

304不銹鋼

內腔體尺寸

φ160x90mm

觀(guān)察窗尺寸

Φ70mm

加熱臺尺寸

φ60mm

觀(guān)察窗熱臺間距

75mm

加熱臺溫度

35-350

加熱臺溫控誤差

±1

真空度

機械泵≤10Pa   分子泵≤10-3Pa

允許正壓

≤0.1MPa

真空抽氣口

KF25真空法蘭

氣體進(jìn)氣口

3mm-6mm卡套接頭

電信號接頭

SMA轉BNC X 4

電學(xué)性能

絕緣電阻 ≥4000MΩ   介質(zhì)耐壓 ≤500V

探針數量

4探針

探針材質(zhì)

鎢針  

探針尖

10μm

探針移動(dòng)平臺

X軸移動(dòng)行程

30mm    ±15mm

X軸控制精度

≤0.01mm

Y軸移動(dòng)行程

13mm    ±12.5mm

Y軸控制精度

≤0.01mm

Z軸移動(dòng)行程

13mm    ±12.5mm

Z軸控制精度

≤0.01mm

電子顯微鏡

顯微鏡類(lèi)別

物鏡

物鏡倍數

0.7-4.5

工作間距

90mm

相機

sony 高清

像素

1920※1080像素

圖像接口

VGA

LED可調光源

顯示屏

8

放大倍數

19-135倍,視場(chǎng)范圍15×13-2.25×1.7mm,小可分辨0.08mm



 

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